半導(dǎo)體材料研究的新進展
(作者未知) 2010/5/21
(接上頁)的裝置,理論上講它比傳統(tǒng)計算機有更快的運算速度,更大信息傳遞量和更高信息安全保障,有可能超越目前計算機理想極限。實現(xiàn)量子比特構(gòu)造和量子計算機的設(shè)想方案很多,其中最引人注目的是Kane最近提出的一個實現(xiàn)大規(guī)模量子計算的方案。其核心是利用硅納米電子器件中磷施主核自旋進行信息編碼,通過外加電場控制核自旋間相互作用實現(xiàn)其邏輯運算,自旋測量是由自旋極化電子電流來完成,計算機要工作在mK的低溫下。
這種量子計算機的最終實現(xiàn)依賴于與硅平面工藝兼容的硅納米電子技術(shù)的發(fā)展。除此之外,為了避免雜質(zhì)對磷核自旋的干擾,必需使用高純(無雜質(zhì))和不存在核自旋不等于零的硅同位素(29Si)的硅單晶;減小SiO2絕緣層的無序漲落以及如何在硅里摻入規(guī)則的磷原子陣列等是實現(xiàn)量子計算的關(guān)鍵。量子態(tài)在傳輸,處理和存儲過程中可能因環(huán)境的耦合(干擾),而從量子疊加態(tài)演化成經(jīng)典的混合態(tài),即所謂失去相干,特別是在大規(guī)模計算中能否始終保持量子態(tài)間的相干是量子計算機走向?qū)嵱没八匦杩朔碾y題。
5發(fā)展我國半導(dǎo)體材料的幾點建議
鑒于我國目前的工業(yè)基礎(chǔ),國力和半導(dǎo)體材料的發(fā)展水平,提出以下發(fā)展建議供參考。
5.1硅單晶和外延材料硅材料作為微電子技術(shù)的主導(dǎo)地位
至少到本世紀中葉都不會改變,至今國內(nèi)各大集成電路制造廠家所需的硅片基本上是依賴進口。目前國內(nèi)雖已可拉制8英寸的硅單晶和小批量生產(chǎn)6英寸的硅外延片,然而都未形成穩(wěn)定的批量生產(chǎn)能力,更談不上規(guī)模生產(chǎn)。建議國家集中人力和財力,首先開展8英寸硅單晶實用化和6英寸硅外延片研究開發(fā),在“十五”的后期,爭取做到8英寸集成電路生產(chǎn)線用硅單晶材料的國產(chǎn)化,并有6~8英寸硅片的批量供片能力。到2010年左右,我國應(yīng)有8~12英寸硅單晶、片材和8英寸硅外延片的規(guī)模生產(chǎn)能力;更大直徑的硅單晶、片材和外延片也應(yīng)及時布點研制。另外,硅多晶材料生產(chǎn)基地及其相配套的高純石英、氣體和化學試劑等也必需同時給以重視,只有這樣,才能逐步改觀我國微電子技術(shù)的落后局面,進入世界發(fā)達國家之林。
5.2 GaAs及其有關(guān)化合物半導(dǎo)體單晶材料發(fā)展建議
GaAs、InP等單晶材料同國外的差距主要表現(xiàn)在拉晶和晶片加工設(shè)備落后,沒有形成生產(chǎn)能力。相信在國家各部委的統(tǒng)一組織、領(lǐng)導(dǎo)下,并爭取企業(yè)介入,建立我國自己的研究、開發(fā)和生產(chǎn)聯(lián)合體,取各家之長,分工協(xié)作,到2010年趕上世界先進水平是可能的。要達到上述目的,到“十五”末應(yīng)形成以4英寸單晶為主2-3噸/年的SI-GaAs和3-5噸/年摻雜GaAs、InP單晶和開盒就用晶片的生產(chǎn)能力,以滿足我國不斷發(fā)展的微電子和光電子工業(yè)的需術(shù)。到2010年,應(yīng)當實現(xiàn)4英寸GaAs生產(chǎn)線的國產(chǎn)化,并具有滿足6英寸線的供片能力。
5.3發(fā)展超晶格、量子阱和一維、零維半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的建議
(1)超晶格、量子阱材料從目前我國國力和我們已有的基礎(chǔ)出發(fā),應(yīng)以三基色(超高亮度紅、綠和藍光)材料和光通信材料為主攻方向,并兼顧新一代微電子器件和電路的需求,加強MBE和MOCVD兩個基地的建設(shè),引進必要的適合批量生產(chǎn)的工業(yè)型MBE和MOCVD設(shè)備并著重致力于GaAlAs/GaAs,InGaAlP/InGaP, GaN基藍綠光材料,InGaAs/InP和InGaAsP/InP等材料體系的實用化研究是當務(wù)之急,爭取在“十五”末,能滿足國內(nèi)2、3和4英寸GaAs生產(chǎn)線所需要的異質(zhì)結(jié)材料。到2010年,每年能具備至少100萬平方英寸MBE和MOCVD微電子和光電子微結(jié)構(gòu)材料的生產(chǎn)能力。達到本世紀初的國際水平。
寬帶隙高溫半導(dǎo)體材料如SiC,GaN基微電子材料和單晶金剛石薄膜以及ZnO等材料也應(yīng)擇優(yōu)布點,分別做好研究與開發(fā)工作。
(2)一維和零維半導(dǎo)體材料的發(fā)展設(shè)想;诘途S半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的固態(tài)納米量子器件,目前雖然仍處在預(yù)研階段,但極其重要,極有可能觸發(fā)微電子、光電子技術(shù)新的革命。低維量子器件的制造依賴于低維結(jié)構(gòu)材料生長和納米加工技術(shù)的進步,而納米結(jié)構(gòu)材料的質(zhì)量又很大程度上取決于生長和制備技術(shù)的水平。因而,集中人力、物力建設(shè)我國自己的納米科學與技術(shù)研究發(fā)展中心就成為了成敗的關(guān)鍵。具體目標是,“十五”末,在半導(dǎo)體量子線、量子點材料制備,量子器件研制和系統(tǒng)集成等若干個重要研究方向接近當時的國際先進水平;2010年在有實用化前景的量子點激光器,量子共振隧穿器件和單電子器件及其集成等研發(fā)方面,達到國際先進水平,并在國際該領(lǐng)域占有一席之地?梢灶A(yù)料,它的實施必將極大地增強我國的經(jīng)濟和國防實力。
本文限于篇幅,只討論了幾種最重要的半導(dǎo)體材料,II-VI族寬禁帶與II-VI族窄禁帶紅外半導(dǎo)體材料,高效太陽電池材料Cu(In,Ga)Se2,C(未完,下一頁)
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