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微機電技術(shù)課件 資料類別    機械機電課件 課程(專業(yè))   微機電技術(shù) 關(guān)鍵詞   微機電技|微機電技 適用年級   研究生 身份要求   普通會員 金 幣   16 �。�金幣如何獲得？） 文件格式   ppt 文件大小   37447K 發(fā)布時間   2006-08-08 20:07:00 預(yù)覽文件   無 下載次數(shù)   66 發(fā)布人   kj008  內(nèi)容簡介：  　　 微機電技術(shù)，內(nèi)容包括： 　　 1、MEMS 歷史回顧，國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 　　 2、MEMS理論基礎(chǔ)和微系統(tǒng)設(shè)計 　　 3、MEMS加工工藝和加工設(shè)備 　　 4、MEMS應(yīng)用事例 　　 5、納米科學(xué)技術(shù)簡介。  相關(guān)說明： 　　1. 如您下載的資料不止一份，建議您注冊成為本站會員。會員請登錄后下載。 　　2. 會員購買金幣50元以下，0.7元/個，50元以上，0.5元/個。具體請看：下載與付款。 　　3. 會員48小時內(nèi)下載同一文件，不重復(fù)扣金幣。 　　4. 下載后請用WinRAR或 WinZIP解壓縮后使用。 　　5. 如仍有其他下載問題，請看常見問題解答。  下載地址：

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