內(nèi)容簡介：
集成電路制造工藝原理
第一章 襯底材料及襯底制備 6學(xué)時
第二章 外延工藝 8學(xué)時
第三章 氧化工藝 7學(xué)時
第四章 摻雜工藝 12學(xué)時
第五章 光刻工藝 3學(xué)時
第六章 制版工藝 3學(xué)時
第七章 隔離工藝 3學(xué)時
第八章 表面鈍化工藝 5學(xué)時
第九章 表面內(nèi)電極與互連 3學(xué)時
第十章 器件組裝 2學(xué)時
相關(guān)說明：
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