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外差測距干涉儀分束鏡的制備
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資料類別
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電子電工畢業(yè)論文（設計） |
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課程(專業(yè))
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光電信息工程 |
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關鍵詞
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分束鏡|真空鍍膜 |
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適用年級
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大學 |
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身份要求
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普通會員 |
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金 幣
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40 �。�金幣如何獲得？） |
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文件格式
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word+ppt |
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文件大小
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1496K |
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發(fā)布時間
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2020-01-06 19:42:00 |
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| 發(fā)布人 |
kj008 |
內(nèi)容簡介：
外差測距干涉儀分束鏡的制備，畢業(yè)論文，共37頁，18361字，附答辯文稿。
摘要
外差干涉儀已廣泛應用于測速、測長、測角、測振等應用，外差測距是通過外差干涉儀來實現(xiàn)的。分束鏡作為外差干涉儀中的重要組成元件，利用薄膜技術來改善干涉儀的光學性能，其研制成為一個新的研究熱點[1]。本文針對干涉儀分束鏡的使用要求，借助TFCalc膜系設計軟件設計了45°入射600-700nm波段干涉測量所需分束鏡，實現(xiàn)透反比8:2分光。試驗在700箱式真空鍍膜機(TXX700)上完成，利用電子束加離子輔助沉積系統(tǒng)，在K9基底上采用Ta2O5和SiO2作為高低折射率材料交替沉積。經(jīng)過反復試驗，解決了各膜層蒸鍍參數(shù)工藝差異問題，有效控制膜厚監(jiān)控精度，最終研制出附著力好、光學性能穩(wěn)定的分束鏡。
關鍵字：分束鏡 真空鍍膜 離子輔助沉積
目錄
摘要 I
Abstract II
第1章 緒論 1
1.1現(xiàn)代光學薄膜的發(fā)展以及應用 1
1.1.1光學薄膜的發(fā)展 1
1.1.2光學薄膜的應用 1
1.2分束鏡概論 3
1.3課題研究背景及意義 4
1.4研究內(nèi)容 5
第2章 鍍膜理論基礎 6
2.1薄膜反射率的計算 6
2.1.1單層薄膜的反射率 6
2.1.2多層薄膜的特性計算 7
2.2對稱膜系的等效層 8
第3章 分束鏡的設計 11
3.1膜料的選擇 11
3.1.1介質(zhì)薄膜的特性 11
3.1.2介質(zhì)膜料的選擇 13
3.2分光膜的設計 13
3.2.1分光膜設計理論 13
3.2.2分光膜設計過程 14
3.3增透膜的設計 16
3.3.1增透膜設計理論 16
3.3.2增透膜設計過程 17
第4章 分束鏡的制備 20
4.1鍍膜工藝 20
4.1.1真空簡介 21
4.1.2電子束加熱蒸發(fā) 21
4.1.3離子輔助沉積技術 22
4.1.4石英晶體監(jiān)控 22
4.2工藝參數(shù)選擇 23
4.3膜層的制備 24
4.3.1制備步驟 24
4.3.2注意事項 25
第5章 測試結(jié)果和分析 26
5.1透過率測試 26
5.2環(huán)境測試 26
5.2.1牢固性測試 26
5.2.2抗激光損傷測試 27
5.3誤差分析 27
結(jié)論 29
參考文獻 30
致謝 31
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