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    近紅外夜視系統(tǒng)抗腐蝕鏡片增透膜的設計與制備
    資料類別
       電子電工畢業(yè)論文(設計)
    課程(專業(yè))
      光電信息工程
    關鍵詞
      光學薄膜|增透膜
    適用年級
      大學
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    發(fā)布時間
      2020-01-29 17:23:00
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    發(fā)布人   kj008
     內容簡介:     近紅外夜視系統(tǒng)抗腐蝕鏡片增透膜的設計與制備,畢業(yè)論文,共44頁,19702字,附答辯文稿等。
       摘 要
       增透膜是光學薄膜中應用最廣、產(chǎn)量最大的膜系,被廣泛應用于農業(yè)、工業(yè)、醫(yī)學、軍事、航空航天等領域。為滿足現(xiàn)代光學儀器尤其是近紅外夜視系統(tǒng)等對抗腐蝕增透膜的需求,本文選用化學性質穩(wěn)定、抗腐蝕性強的 作為高折射率材料,以耐磨抗腐蝕的 作為低折射率材料,以K9玻璃為基底,設計制備了 波段范圍內的寬帶增透膜。根據(jù)雙有效界面設計原理,利用TFC軟件以HL為基礎膜系進行膜系設計。采用電子束蒸發(fā)和離子輔助沉積的方法進行鍍膜,通過多次實驗,對真空度、電子束流、蒸發(fā)速率、充氧量等工藝參數(shù)進行調整,鍍制薄膜樣品,并利用分光光度計對鍍制樣品的透過率進行檢測,得到透過率光譜曲線,在規(guī)定波段光譜平均透過率達98.5%以上,滿足設計要求。最后對膜層進行誤差分析,并提出改進的可行性措施。
       關鍵詞:光學薄膜 增透膜 電子束蒸發(fā) 離子輔助沉積
      
       目 錄
       摘 要 I
       Abstract II
       目 錄 I
       第1章 緒論 1
       1.1 研究背景 1
       1.1.1 光學薄膜的發(fā)展與應用 1
       1.1.2 增透膜的發(fā)展與應用 1
       1.2 研究目的及意義 2
       1.3 國內外研究現(xiàn)狀 2
       1.3.1 國內研究現(xiàn)狀 2
       1.3.2 國外研究現(xiàn)狀 2
       1.4 研究內容 3
       第2章 增透膜的設計理論 4
       2.1 定性分析 4
       2.2 定量分析 4
       2.2.1 單層增透膜 4
       2.2.2 雙層及多層增透膜 6
       2.2.3 超寬帶增透膜 7
       第3章 膜系設計 9
       3.1 膜料的選擇 9
       3.1.1 低折射率材料 9
       3.1.2 中折射率材料 9
       3.1.3 高折射率材料 9
       3.2 初始膜系設計 10
       3.2.1 方案一 10
       3.2.2 方案二 12
       3.2.3 方案三 17
       3.2.4 膜系確定 20
       第4章 薄膜的制備工藝 22
       4.1 鍍膜設備 22
       4.1.1 真空鍍膜機的分類 22
       4.1.2 真空鍍膜機的結構 22
       4.2 鍍膜工藝因素 24
       4.2.1 真空度 24
       4.2.2 沉積速率(蒸發(fā)速率) 24
       4.2.3 基片溫度 24
       4.2.4 離子轟擊 25
       4.2.5 基片材料 25
       4.2.6 基片清潔 25
       4.2.7 蒸發(fā)方法 25
       4.2.8 蒸汽入射角 25
       4.2.9 膜層材料 26
       4.2.10 鍍膜后的老化處理 26
       4.3 膜層制備工藝過程 26
       第5章 測試結果及誤差分析 30
       5.1 測試結果 30
       5.1.1 牢固度測試 30
       5.1.2 透過率測試 30
       5.1.3 抗腐蝕性能測試 31
       5.2 誤差分析 31
       5.3 可行性改進方法 33
       結 論 34
       參考文獻 35
       致 謝 37

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