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多波段濾光膜的設(shè)計與制備
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資料類別
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化工建筑畢業(yè)論文（設(shè)計） |
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課程(專業(yè))
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化工 |
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關(guān)鍵詞
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光學(xué)薄膜|多波段濾光膜 |
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適用年級
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大學(xué) |
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身份要求
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普通會員 |
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金 幣
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60 �。�金幣如何獲得？） |
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文件格式
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word+ppt |
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文件大小
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2380K |
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發(fā)布時間
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2020-02-19 16:28:00 |
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預(yù)覽文件
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| 發(fā)布人 |
kj008 |
內(nèi)容簡介：
多波段濾光膜的設(shè)計與制備，畢業(yè)論文，共32頁，15912字，附答辯文稿等。
摘 要
隨著紅外光通信技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)薄膜在提升光學(xué)器件性能方面扮演著越來越重要的角色。本課題主要研制以K9玻璃為基底，實現(xiàn)在波長532nm處，T﹥95%；波長808nm處，T﹤0.5%；波長1064nm處，T﹥95%的多波段濾光膜，同時對薄膜材料的光學(xué)性能進行研究和分析，根據(jù)薄膜設(shè)計理論，借助TFC膜系軟件進行膜系設(shè)計。通過對初始膜系膜層厚度的優(yōu)化，獲得了較為理想的膜系結(jié)構(gòu)。采用電子束真空蒸發(fā)和離子輔助沉積技術(shù)制備薄膜，對鍍膜過程中影響膜層性能的工藝因素進行了分析、研究，并給出了最終設(shè)計曲線及實測曲線。
關(guān)鍵詞：光學(xué)薄膜 多波段濾光膜 真空鍍膜 離子輔助沉積
目 錄
摘 要 I
ABSTRACT II
第1章 緒 論 1
1.1 薄膜的發(fā)展與應(yīng)用 1
1.2 課題研究的目的和意義 1
1.3 研究的背景及內(nèi)容 2
1.4 本課題研究的主要工作 3
第2章 光學(xué)薄膜的理論基礎(chǔ) 4
2.1 單層介質(zhì)薄膜的反射率 4
在界面上應(yīng)用邊界條件可以寫出： 4
2.2 多層介質(zhì)薄膜的反射率 7
第3章 多波段濾光膜的設(shè)計 9
3.1 薄膜材料的選取 9
3.1.1 薄膜材料的選則依據(jù) 9
3.1.2 選擇薄膜材料 11
3.2 膜系設(shè)計 12
3.2.1 多波段濾光膜的設(shè)計 12
3.2.2 增透膜的設(shè)計 14
第4章 薄膜制備 16
4.1 真空鍍膜設(shè)備簡介 16
4.1.1 真空獲得系統(tǒng) 16
4.1.2 材料蒸發(fā)系統(tǒng) 17
4.1.3 膜層厚度監(jiān)控系統(tǒng) 18
4.1.4 離子源 20
4.2 工藝因素 21
4.3 制備工藝過程 23
第5章 測試結(jié)果與誤差分析 25
5.1 測試結(jié)果與分析 25
5.2 薄膜制備的誤差來源 25
結(jié) 論 27
參 考 文 獻 28
致 謝 29
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