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半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)濾光片的設(shè)計與制備
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資料類別
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電子電工畢業(yè)論文（設(shè)計） |
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課程(專業(yè))
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光電信息工程 |
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關(guān)鍵詞
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長波通|濾光片 |
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適用年級
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大學(xué) |
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身份要求
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普通會員 |
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金 幣
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70 �。�金幣如何獲得？） |
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文件格式
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word+ppt |
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文件大小
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1093K |
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發(fā)布時間
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2020-02-25 09:30:00 |
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預(yù)覽文件
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0945247.png（只能預(yù)覽部分內(nèi)容） |
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下載次數(shù)
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0 |
| 發(fā)布人 |
kj008 |
內(nèi)容簡介：
半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)濾光片的設(shè)計與制備，畢業(yè)論文，共31頁，15677字，附答辯文稿。
摘要
光學(xué)薄膜作為現(xiàn)代光學(xué)的一個重要分支，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于天文、紅外物理學(xué)、激光技術(shù)等領(lǐng)域。
本論文研究半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)中以K 9光學(xué)玻璃為基底，實現(xiàn)在808nm處反射率R＞99%，以及在1064nm處透射率T＞95%的長波通濾光片設(shè)計與制備。首先，根據(jù)課題要求選擇幾種適合的膜系材料，在所選膜料的基礎(chǔ)上進(jìn)行膜系設(shè)計，并將不同方案進(jìn)行分析比較，選擇最優(yōu)的方案進(jìn)行實驗操作，并針對實驗結(jié)果對鍍膜工藝的幾種主要影響因素進(jìn)行了簡要分析。最后使用Ti3O5和SiO2材料設(shè)計并制備了濾光片，達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)，最后對制備的薄膜進(jìn)行了誤差分析并給出了實驗結(jié)果。
關(guān)鍵詞：長波通 濾光片 膜系設(shè)計 光學(xué)薄膜
目錄
摘要 I
Abstract II
第1章緒論 1
1.1光學(xué)薄膜的發(fā)展 1
1.2光學(xué)薄膜的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 1
1.3本論文的研究內(nèi)容 2
第2章薄膜基本理論 3
2.1薄膜的干涉 3
2.2長波通濾光片的基本原理 6
第3章膜系的設(shè)計 8
3.1膜系要求參數(shù) 8
3.2膜系材料的選擇及要求 8
3.2.1膜系材料選擇原則 8
3.2.2薄膜材料的要求 8
3.2.3幾種常見鍍膜材料 9
3.3初始膜系設(shè)計 10
3.4確定方案 13
第4章鍍膜設(shè)備及工藝 14
4.1鍍膜設(shè)備簡介 14
4.2真空系統(tǒng)（抽氣系統(tǒng)） 15
4.2.1低真空系統(tǒng) 15
4.2.2高真空抽氣系統(tǒng) 15
4.3離子束輔助系統(tǒng) 16
4.4光學(xué)薄膜影響因素 17
4.4.1真空度對光學(xué)薄膜性質(zhì)的影響 17
4.4.2沉積速率對光學(xué)薄膜性質(zhì)的影響 17
4.4.3基底溫度對光學(xué)薄膜性質(zhì)的影響 17
第5章膜系的制備與測試 19
5.1制備工藝 19
5.1.1試片的檢測 19
5.1.2蒸鍍技術(shù) 19
5.2測試結(jié)果與誤差分析 21
5.2.1誤差分析 22
5.2.2質(zhì)量檢測 22
總結(jié) 23
參考文獻(xiàn) 24
致謝 25
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