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PECVD維護(hù)電子書
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資料類別
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電子電工軟件圖書 |
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課程(專業(yè))
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PECVD維護(hù) |
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關(guān)鍵詞
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PECVD維護(hù)|等離子 |
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適用年級
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大學(xué) |
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身份要求
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普通會員 |
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金 幣
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0 �。�金幣如何獲得？） |
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文件格式
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Word |
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文件大小
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2891K |
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發(fā)布時間
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2011-11-11 19:29:00 |
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預(yù)覽文件
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無 |
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下載次數(shù)
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2 |
| 發(fā)布人 |
lcw |
內(nèi)容簡介：
PECVD維護(hù)電子書
目錄
1安全指示…………………………………………………………………………………………… 3
1.1介紹……………………………………………………………………………………………3
1.2安全標(biāo)志………………………………………………………………………………………3
2描述…………………………………………………………4
2.1概要……………………………………………………………………………………………4
2.2線型微波等離子體發(fā)射源類型……………………………5
2.3線型微波等離子體的產(chǎn)生………………………………………………………………………6
3技術(shù)數(shù)據(jù)……………………………………………………………………………………………9
3.1概要……………………………………………………………………………………………9
3.2性能……………………………………………………………………………………………10
3.3電氣數(shù)據(jù)………………………………………………………………………………………10
3.4連接……………………………………………………………………………………………10
3.4.1氣體連接…………………………………………………………………………………10
3.4.2水路連接…………………………………………………………………………………10
4組裝…………………………………………………………11
5設(shè)備維護(hù)……………………………………………………………………………………………12
5.1石英管的拆卸…………………………………………………………………………………13
5.2沉積罩的拆卸…………………………………………………………………………………15
5.3等離子體發(fā)射源的清洗………………………………………………………………………16
5.4沉積罩的替換…………………………………………………………………………………17
5.5玻璃石英管的替換……………………………………………………………………………17
5.6安全性能………………………………………………………………………………………21
6備配件……………………………………………………22
6.1介紹……………………………………………………………………………………………22
6.2備配件清單…………………………………22
7推薦備配件………………………………………………………27
相關(guān)說明：
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